Bewezen technologie, bewezen design –
ga voor de beste oplossing

COBRA BC 1000 / 2000 F

  • Efficiënt:
    rendabel, lange bedrijfstijd, energie-efficiënt
  • Eenvoudig onderhoud: 
    lange onderhoudsintervallen
  • Betrouwbaar:
    bedrijfszeker
  • Flexibel:
    toepassingsgericht
  • Stil:
    geluidsniveau <62 dB(A)
     

De COBRA BC 1000 F en BC 2000 F zijn twee droge schroefvacuümpompen uit de bewezen COBRA BC serie. De hoge pompsnelheid en de grote waterstofdoorvoer maken hen ideaal voor alle veeleisende processen rond de productie van zonnepanelen, flatscreens en halfgeleiders. De COBRA vacuümpompen zijn olie- en contactvrij, waardoor media die zijn gevuld met poeder en deeltjes kunnen worden afgevoerd.

De COBRA BC 1000 F en BC 2000 F zijn standaard uitgerust met een ingebouwde vacuümbooster, wat voor een hogere pompsnelheid en einddruk zorgt. De voorpomp en vacuümbooster zijn samen gemonteerd op een compact basisframe.

De COBRA BC 1000 F en BC 2000 F zijn voorzien van zeer efficiënte motoren met een standby-modus, wat optimale mogelijkheden voor energiebesparing biedt.

Dankzij hun compacte constructie nemen de pompen heel weinig ruimte in, terwijl de gebruikskosten tot een minimum worden beperkt door hun extreem lage energiebehoefte. De lange levensduur van de COBRA BC vacuümpompen verlaagt de kosten nog verder. Deze schroefvacuümpompen kunnen eenvoudig en snel in bestaande systemen worden geïntegreerd.

Toepassingen

  • Hoge dichtheid plasma-CVD (HDP-CVD)
  • Snelle thermische verwerking (RTP)
  • Sub-atmosferisch-CVD (SACVD)
  • Metaal-organisch-CVD (MOCVD)
  • Plasma-versterkt-CVD (PECVD)
  • Lagedruk-CVD (LPCVD)
  • Atoomlaag afzetting (ALD)
  • Load-lock met hoge capaciteit

COBRA – de nieuwe generatie vacuümpompen voor de meest veeleisende omstandigheden.

COBRA – de nieuwe generatie vacuümpompen voor de meest veeleisende omstandigheden.

Wilt u meer weten?
We geven u graag meer informatie. Contact Busch Nederland:
+31 (0)348 46 23 00 Neem contact met ons op

Technische specificaties

Technische specificaties
De COBRA BC 1000 F en BC 2000 F zijn eentraps schroefvacuümpompen met dubbele as. Twee schroefrotors binnen het pomphuis vangen het pompmedium op en comprimeren het en vervoeren het vervolgens naar de gasuitlaat. Tijdens het comprimeren maken de schroefrotors geen contact met elkaar, noch met het pomphuis, waardoor geen smeermiddelen en dus bedrijfsvloeistoffen nodig zijn in de compressiekamer.

Het nieuwste schroefontwerp zorgt voor een drastische vermindering van het energieverbruik en voorkomt hoge gastemperaturen tijdens het comprimeren. De moderne schroeftechnologie maakt tevens een extreem hoge pompsnelheid mogelijk voor het afvoeren van waterstof. Een vacuümbooster wordt in combinatie met de schroefvacuümpomp als booster gebruikt, waardoor een compacte eenheid ontstaat.

De efficiënte indirecte waterkoeling zorgt voor een gelijkmatige temperatuurverdeling in de vacuümpomp en garandeert thermische stabiliteit tijdens het gehele proces.

COBRA BC schroefvacuümpompen zijn ook verkrijgbaar met een speciale coating voor de behandeling van corrosieve gassen en dampen.

Tekening COBRA BC 1000/2000 F
COBRA BC 1000/2000 F
Pompsnelheid

Lucht bij 20 °C. Tolerantie: ± 10%

50 Hz 60 Hz
Pompsnelheid
Technische gegevens COBRA BC 1000 F COBRA BC 2000 F
Nominale pompsnelheid 930 m³/h 1580 m³/h
Einddruk 0,003 hPa (mbar) 0,003 hPa (mbar)
Nominaal motorvermogen voorpomp 1,5 kW 2,9 kW
Nominaal motorvermogen vacuümbooster 2,9 kW 4,0 kW
Nominal motor speed backing pump 3000 min-1 4800 min-1
Nominal motor speed vacuum booster 5400 min-1 5400 min-1
Combined power consumption at ultimate pressure / Idle mode 2,1 / 1,5 kW 3,0 / 1,9 kW
Geluidsniveau (ISO 2151) 62 dB(A) 62 dB(A)
Waterverbruik 3,0 l/min 3,0 l/min
Droge persluchtverbruik 0 - 50 l/min 0 - 50 l/min
Gewicht ca. 310 kg 360 kg
Afmetingen (L x B x H) 1054 x 425 x 615 mm 1054 x 425 x 615 mm
Gasinlaat/-uitlaat DN 100 ISO-K / DN 40 ISO-KF DN 160 ISO-K / DN 40 ISO-KF
Alle prestatiegegevens zijn gebaseerd op omgevingomstandigheden van 14,7 PSIA en 70 °F/ 21 °C en hebben een tolerantie van ± 10%.    

Technische specificaties

Technische specificaties
De COBRA BC 1000 F en BC 2000 F zijn eentraps schroefvacuümpompen met dubbele as. Twee schroefrotors binnen het pomphuis vangen het pompmedium op en comprimeren het en vervoeren het vervolgens naar de gasuitlaat. Tijdens het comprimeren maken de schroefrotors geen contact met elkaar, noch met het pomphuis, waardoor geen smeermiddelen en dus bedrijfsvloeistoffen nodig zijn in de compressiekamer.

Het nieuwste schroefontwerp zorgt voor een drastische vermindering van het energieverbruik en voorkomt hoge gastemperaturen tijdens het comprimeren. De moderne schroeftechnologie maakt tevens een extreem hoge pompsnelheid mogelijk voor het afvoeren van waterstof. Een vacuümbooster wordt in combinatie met de schroefvacuümpomp als booster gebruikt, waardoor een compacte eenheid ontstaat.

De efficiënte indirecte waterkoeling zorgt voor een gelijkmatige temperatuurverdeling in de vacuümpomp en garandeert thermische stabiliteit tijdens het gehele proces.

COBRA BC schroefvacuümpompen zijn ook verkrijgbaar met een speciale coating voor de behandeling van corrosieve gassen en dampen.

Tekening
COBRA BC 1000/2000 F
COBRA BC 1000/2000 F
Pompsnelheid

Lucht bij 20 °C. Tolerantie: ± 10%

50 Hz
60 Hz
Pompsnelheid
Technische gegevens COBRA BC 1000 F COBRA BC 2000 F
Nominale pompsnelheid 930 m³/h 1580 m³/h
Einddruk 0,003 hPa (mbar) 0,003 hPa (mbar)
Nominaal motorvermogen voorpomp 1,5 kW 2,9 kW
Nominaal motorvermogen vacuümbooster 2,9 kW 4,0 kW
Nominal motor speed backing pump 3000 min-1 4800 min-1
Nominal motor speed vacuum booster 5400 min-1 5400 min-1
Combined power consumption at ultimate pressure / Idle mode 2,1 / 1,5 kW 3,0 / 1,9 kW
Geluidsniveau (ISO 2151) 62 dB(A) 62 dB(A)
Waterverbruik 3,0 l/min 3,0 l/min
Droge persluchtverbruik 0 - 50 l/min 0 - 50 l/min
Gewicht ca. 310 kg 360 kg
Afmetingen (L x B x H) 1054 x 425 x 615 mm 1054 x 425 x 615 mm
Gasinlaat/-uitlaat DN 100 ISO-K / DN 40 ISO-KF DN 160 ISO-K / DN 40 ISO-KF
Alle prestatiegegevens zijn gebaseerd op omgevingomstandigheden van 14,7 PSIA en 70 °F/ 21 °C en hebben een tolerantie van ± 10%.    

Downloads

COBRA BC 1000 / 2000 F

Heeft u niet het juiste product gevonden?

Standard News

Laatste nieuws