-
Efficiënt:
rendabel, lange bedrijfstijd, energie-efficiënt -
Eenvoudig onderhoud:
lange onderhoudsintervallen -
Betrouwbaar:
bedrijfszeker -
Flexibel:
toepassingsgericht -
Stil:
geluidsniveau <58 dB(A
De COBRA BC 0100 F is een droge schroefvacuümpomp uit de serie COBRA BC die een compacte geavanceerde oplossing biedt voor load-lock-systemen met een grote capaciteit. De pomp is geschikt voor de meest veeleisende toepassingen voor de productie van zonnepanelen, flatscreens en halfgeleiders. Dankzij het unieke schroefpompontwerp biedt deze vacuümpomp uitstekende poederverwerkingsmogelijkheden.
De COBRA BC 0100 F is uitgerust met zeer efficiënte motoren en geavanceerde functies voor stationair draaien en biedt zo uitstekende mogelijkheden voor energiebesparing.
Als gevolg van het geoptimaliseerde ruimtebesparende ontwerp en de mogelijkheden voor energiebesparing zijn de totale exploitatiekosten (TCO) voor deze vacuümpomp uit de COBRA-reeks uiterst laag.
Toepassingen
- Hoge dichtheid plasma-CVD (HDP-CVD)
- Snelle thermische verwerking (RTP)
- Sub-atmosferisch-CVD (SACVD)
- Metaal-organisch-CVD (MOCVD)
- Plasma-versterkt-CVD (PECVD)
- Lagedruk-CVD (LPCVD)
- Atoomlaag afzetting (ALD)
- Load-lock met hoge capaciteit
