Bewezen technologie, bewezen design –
ga voor de beste oplossing

COBRA BC 0100 / 0200 F

  • Efficiënt:
    rendabel, lange bedrijfstijd, energie-efficiënt
  • Eenvoudig onderhoud:
    lange onderhoudsintervallen
  • Betrouwbaar:
    bedrijfszeker
  • Flexibel:
    toepassingsgericht 
  • Stil:
    geluidsniveau <58 dB(A


De COBRA BC 0100 F is een droge schroefvacuümpomp uit de serie COBRA BC die een compacte geavanceerde oplossing biedt voor load-lock-systemen met een grote capaciteit. De pomp is geschikt voor de meest veeleisende toepassingen voor de productie van zonnepanelen, flatscreens en halfgeleiders. Dankzij het unieke schroefpompontwerp biedt deze vacuümpomp uitstekende poederverwerkingsmogelijkheden.

De COBRA BC 0100 F is uitgerust met zeer efficiënte motoren en geavanceerde functies voor stationair draaien en biedt zo uitstekende mogelijkheden voor energiebesparing.

Als gevolg van het geoptimaliseerde ruimtebesparende ontwerp en de mogelijkheden voor energiebesparing zijn de totale exploitatiekosten (TCO) voor deze vacuümpomp uit de COBRA-reeks uiterst laag.

Toepassingen

  • Hoge dichtheid plasma-CVD (HDP-CVD)
  • Snelle thermische verwerking (RTP)
  • Sub-atmosferisch-CVD (SACVD)
  • Metaal-organisch-CVD (MOCVD)
  • Plasma-versterkt-CVD (PECVD)
  • Lagedruk-CVD (LPCVD)
  • Atoomlaag afzetting (ALD)
  • Load-lock met hoge capaciteit

COBRA – de nieuwe generatie vacuümpompen voor de meest veeleisende omstandigheden.

Wilt u meer weten?
We geven u graag meer informatie. Contact Busch Nederland:
+31 (0)348 46 23 00 Neem contact met ons op

Technische specificaties
De COBRA BC 0100 F werkt met twee schroefrotors die in tegengestelde richting draaien. Hierdoor wordt het te pompen medium opgevangen tussen het pomphuis en de schroefkamers, waarna het naar de gasuitlaat wordt gebracht. Het schroefmechanisme minimaliseert schuivende gebieden binnen in de pomp en heeft daardoor optimale mogelijkheden voor poederverwerking en herstarten.

Het geavanceerde schroefontwerp zorgt voor een lager verbruik van elektrische energie vergeleken met standaard schroefontwerpen. Het levert ook een lagere warmtebelasting op van het gecomprimeerde gas. Pompen uit de BCserie gebruiken een indirecte koelmethode die voor een gelijkmatige temperatuur in het hele pomplichaam zorgen, waardoor koude plekken geëlimineerd worden en een thermisch stabiele watermantel ontstaat.

Het unieke ”vliegende lager”- schroefontwerp elimineert problemen met lagers bij de inlaat en zorgt voor een lagere uitstoot.

COBRA BC schroefvacuümpompen zijn ook verkrijgbaar met een speciale coating voor de behandeling van corrosieve gassen en dampen.


COBRA BC 0100 F
COBRA BC 0100 F
Pompsnelheid

Lucht bij 20 °C. Tolerantie: ± 10%

50 Hz 60 Hz
Pompsnelheid <p> Lucht bij 20 °C. Tolerantie: ± 10%</p>
Technische gegevens COBRA BC 0100 F COBRA BC 0200 F
Nominale pompsnelheid m³/h 100 165
Einddruk hPa (mbar) 0,01 0,01
Nominaal motor vermogen kW 1,8 2,9
Energieverbruik bij einddruk kW 1,3 1,6
Nominaal motor toerental min-1 3600 4570
Geluidsniveau (ISO 2151) dB(A) 58 60
Waterverbruik l / min 1,0 2,0
Droge persluchtverbruik l / min 0 - 50 0 - 50
Gewicht ca. kg 120 130
Afmetingen (L x W x H) mm 829 x 304 x 362 806 x 304 x 392
Gasinlaat /-uitlaat DN 50 KF / DN 40 KF DN 50 KF / DN 40 KF

Downloads

COBRA BC 0100 / 0200 F

Standard News

Laatste nieuws