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PANDA WZ 3600 A

メカニカルブースターポンプ

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高気密でパフォーマンスを最適化する中~高真空向け製品

高信頼性

堅固な構造、さまざまな運転条件下での高信頼性、高気密、バリアガス接続

高い性能

粉体や粒子状のデポジットの堆積を防ぐオプションバージョン、優れた排気効率、高い到達真空度、真空システムの性能を最大で10倍に向上、バイパスバルブ内蔵、半導体プロセスを含む中真空および高真空用途向けの特殊設計、タクトタイムの短縮に寄与する内部軽量化

フレキシブル

システムの任意の位置にフランジで取り付け可能、あらゆるタイプのバックポンプの性能を向上、横方向または縦方向の排気

技術仕様