要件の厳しいプロセス向けの気密性に優れた真空生成
高い性能
高度なスクリュー設計、特許取得のセルフバランシングスクリュー、コーティング用途、ヘリウムの吸引またはフッ素化に最適
高効率性
所有コストの低さ、最小限のメンテナンス、長いサービス間隔、優れたアップタイム、効率的な水冷方式
気密設計
一体型モーター、プロセスガスの汚染なし、高気密
技術仕様
マーケット & アプリケーション
分析と研究開発
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粒子加速器
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ビームライン
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コーティング
バイオガス関連
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改質 - PSA (圧力変動吸着法)
冶金
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コーティング
プラスチック加工
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溶解
太陽光パネル関連
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プラズマCVD (PECVD)
設計オプション
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ATEX - 爆発危険区域内での使用を想定。