厳しい要件のプロセス向けの新世代ドライ真空ポンプ
高い性能
高度なスクリュー設計、優れた運転品質、メカニカルブースターポンプ搭載、大容量ロードロックおよびコーティングプロセスに最適
高効率性
所有コストの低さ、最小限のメンテナンス、長いサービス間隔、優れたアップタイム、効率的な水冷方式、優れた溶剤処理能力
コンパクト
設置場所を選ばない設計、直結のキャンドモーター、バックポンプ、メカニカルブースターポンプをコンパクトなベースフレーム上に設置、モジュラー設計
技術仕様
マーケット & アプリケーション
フラットパネルディスプレイ関連
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ロードロックチャンバー