厳しい要件のプロセス向けの新世代ドライ真空ポンプ
高い性能
高度なスクリュー設計、優れた運転品質、メカニカルブースターポンプ搭載、推奨用途はCVD、高速熱処理、ALD
高効率性
低所有コスト、最小限のメンテナンス、長いサービス間隔、優れたアップタイム、効率的な間接水冷方式
コンパクト
設置場所を選ばない設計、直結のキャンドモーター、バックポンプとメカニカルブースターポンプをコンパクトなベースフレーム上に設置
技術仕様
マーケット & アプリケーション
フラットパネルディスプレイ関連
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ロードロックチャンバー
半導体アプリケーション
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ALD
太陽光パネル関連
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セル製造
アクセサリー
- オプションで粉体プロセス対応バージョンもご用意