Las bombas de vacío de lóbulos rotativos multietapa Torri son la solución compacta y energéticamente eficiente para la evacuación de cámaras «load-lock».

Se caracterizan por ofrecer un vacío límite bajo y un excelente tiempo de evacuación de la cámara.

 

Principio de funcionamiento

Las bombas de vacío Torri BD funcionan de acuerdo con el principio probado de lóbulos rotativos.

La rotación de los lóbulos atrapa el medio bombeado y lo transporta de una fase a la otra hasta llegar a la salida.

Gracias al diseño especial de los lóbulos y a una gran precisión de fabricación, no entran en contacto entre sí ni con el cuerpo.
Además, no es necesario usar lubricantes ni fluidos de trabajo en la cámara de compresión.

Los lóbulos se accionan mediante un motor eléctrico síncrono refrigerado por agua que se acopla directamente.