COBRA DS 1200/1800 A/A X
Bombas de vacío de tornillo en seco
La nueva generación de bombas de vacío secas para procesos exigentes
Alto rendimiento
Diseño de tornillo avanzado, excelentes cualidades de funcionamiento, booster de vacío integrado, perfectas para aplicaciones solares, paneles planos y semiconductores, así como procesos exigentes con gases a altas temperaturas, tales como el grabado al agua fuerte y la CVD, excelente gestión del polvo, tornillo recubierto de tantalio para aplicaciones severas
Eficientes
Coste de propiedad reducido, mantenimiento mínimo, largos intervalos entre servicios, alto tiempo de actividad, gran capacidad de hidrógeno, bajo consumo energético, control de temperatura variable
Compactas
Diseño adaptable a cada instalación, motor sellado montado directamente, bomba primaria y booster de vacío combinados en una bancada compacta, bajo nivel de vibración
Especificaciones técnicas
Mercados y aplicaciones
-
Refinado: adsorción por cambio de presión
-
Deposición química de vapor mejorada por plasma (PECVD)
-
Cámaras Load Lock
-
Diodo orgánico de emisión de luz (OLED)
-
Deposición física de vapor (PVD)
-
Desgasificación
-
Medio
-
Duro
-
Sencillo
-
Deposición química de vapor mejorada por plasma (PECVD)