Semicon-produktion med vakuum

Busch-vakuumpumper drives ved førende Semiconfabrikker og er kendt for deres driftssikkerhed. Resultatet af, at vi i mange år har lyttet til vores semicon-partneres behov og deres proceskrav.

Lad os guide dig til at finde den perfekte løsning til dine proceskrav.

Semicon-tjenester

ARPQP
Busch's nye renoveringsservice for vakuumpumper. Fortrinsvis for semicon- og fladsskærmsindustrien.
Få mere at vide
Komplet service til semiconfabrikker
Holistisk service på stedet for et sikkert og stabilt produktionsmiljø i din semiconfabrik.
Få mere at vide
Semiconductor service locations
Find your semiconductor service location.
Learn more

VORES LØSNINGER TIL SEMICON-PRODUKTION

Vakuumløsninger fra Busch er det foretrukne valg til alle semicon-anvendelser. Hvor høj pålidelighed, lave ejeromkostninger og intelligent kommunikation mellem semicon-værktøjer er af afgørende betydning. Fra lastlåsekamre til de mest barske partikelgenererende processer. Vi har leveret vakuumsystemer til førende semicon-fabrikanter over hele verden. Og med enkelt-leverandørsupport på stedet bagefter.

	COBRA	TORRI	VACTEST	TAPIR
Let (indføringssluse- og overførselskamre, metrologi, litografi)	✓	✓	✓	✓
Mellem (PVD-processer, PVD-forrens, RTA, afrensning/afbrænding til aske, oxidætsning, silikoneætsning)	✓		✓	✓
Barsk (metalætsning, implantatkilde, HDP, CVD, RTP, epitaxi, SA CVD, MO CVD, PE CVD, LP CVD, ALD)	✓		✓	✓