Semicon-produktion med vakuum

Find din Semicon-service løsning hos Busch Group

Busch Group, en global leder inden for vakuumteknologi, forener to ekspert brands: Busch Vacuum Solutions og Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions. Sammen tilbyder de en omfattende portefølje af vakuumløsninger og tjenester, der er skræddersyet til Semicon-industrien.

Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions tilbyder specialiseret ekspertise inden for høje og ultrafine vakuum- og lækagedetekteringsområder, især til Semicon-anvendelser. Med sin mangeårige position i Semicon-industrien vil Pfeiffer levere den bedst mulige service. Uanset om det drejer sig om renovering af vakuumpumper eller komplet sub-fab-styring, sikrer Pfeiffer, at dine Semicon-processer er i sikre hænder.

Vores Løsninger Til Semicon-Produktion

Vakuumløsninger fra Busch er det foretrukne valg til alle semicon-anvendelser. Hvor høj pålidelighed, lave ejeromkostninger og intelligent kommunikation mellem semicon-værktøjer er af afgørende betydning. Fra lastlåsekamre til de mest barske partikelgenererende processer. Vi har leveret vakuumsystemer til førende semicon-fabrikanter over hele verden. Og med enkelt-leverandørsupport på stedet bagefter.