COMBI
真空泵机组COMBI 真空泵机组是一套理想的真空发生器,可以满足几乎所有工业流程的精确需求。该系列产品将罗茨泵与前级泵集成于一个紧凑的单元内。
凭借罗茨泵与前级泵丰富多样的组合方式,其工作压力与抽速可以针对几乎所有工艺条件和泵送介质进行精确调整。真空泵机组适用于多种应用, 包括涂层、热处理、真空干燥、层压、真空包装以及 load-lock 腔体等。
根据罗茨泵和前级泵的组合方式及规格尺寸,提供多种设计版本。真空泵和罗茨泵既可以直接通过法兰连接至底座,也可以安装于机架上。
我们的产品组合涵盖了以下几种 COMBI 机型:
- COMBI BRV 机型,采用 R5 油润滑旋片真空泵作为前级泵,搭配 PANDA 罗茨泵。
- COMBI BNV 机型,配备 COBRA 干式螺杆真空泵作为前级泵,搭配 PANDA 罗茨泵。
- COMBI CMM 机型,配备两台 MINK MM 干式爪式真空泵,其中一台用作另一台的前级泵。