适用于高要求工艺的新一代干式真空泵
性能出色
先进的螺杆设计，出色的运行品质，集成罗茨泵，非常适用于化学气相沉积、快速热退火或原子层沉积等应用
高效
拥有成本低，维护少，保养间隔长，正常运行时间长，高效水冷却，高氢气吞吐量
结构紧凑
密闭式设计，直联的罐装电机，前级泵和罗茨泵组合安装于底座上
技术规格
市场和应用
沼气处理
-
升级 - 变压吸附
平板显示器生产
-
等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)
-
Load lock 腔体
-
有机发光二极管 (OLED)
-
物理气相沉积（PVD）
锂离子电池生产
-
脱气
半导体生产
-
中型
-
严苛
-
轻型
太阳能发电行业
-
Load lock 腔体
-
等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)
配件
- 备有可选粉末加工版（仅适用于 DS 3010 G 和 DS 3161 C）
- 可选钽涂层