适用于高要求工艺的新一代干式真空泵
性能出色
先进的螺杆设计，出色的运行品质，集成罗茨泵，非常适用于化学气相沉积、快速热退火或原子层沉积等应用
高效
拥有成本低，维护少，保养间隔长，正常运行时间长，高效水冷却，高氢气吞吐量
结构紧凑
密闭式设计，直联的罐装电机，前级泵和罗茨泵组合安装于底座上
技术规格
市场和应用
沼气处理
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升级 - 变压吸附
平板显示器生产
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有机发光二极管 (OLED)
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Load lock 腔体
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等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)
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物理气相沉积（PVD）
锂离子电池生产
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脱气
半导体生产
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中型
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严苛
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轻型
太阳能发电行业
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等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)
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Load lock 腔体
配件
- 备有可选粉末加工版（仅适用于 DS 3010 G 和 DS 3161 C）
- 可选钽涂层