适用于高要求工艺的新一代干式真空泵
性能出色
先进的螺杆设计，出色的运行品质，集成罗茨泵，强劲的粉末处理能力，非常适用于半导体应用、平板显示器生产及太阳能应用
效率高
拥有成本低，维护少，保养间隔长，正常运行时间长，出色水冷却，高氢气吞吐量，变温控制，低振动水平
结构紧凑
密闭式设计，直联的罐装电机，集成控制面板，前级泵和罗茨泵组合安装于底座上
技术规格
市场和应用
沼气处理
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升级 - 变压吸附
平板显示器生产
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等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)
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Load lock 腔体
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有机发光二极管 (OLED)
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物理气相沉积（PVD）
半导体生产
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中型
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严苛
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轻型
太阳能发电行业
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等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)
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Load lock 腔体
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模铸
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层压
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物理气相沉积（PVD）