Gasreductie via een natte gaswasser voor EPI-processen
Betrouwbaar
Speciaal ontworpen voor veeleisende EPI-processen, krachtige venturi-eenheid, gepatenteerde antiverstoppingsgasinlaat, geen afvanging van bijproducten nodig voor reductie (honey trap)
Minimaal onderhoud
Langere onderhoudsintervallen, hoge beschikbaarheid, eenvoudig en snel onderhoud, geen demontage nodig
Efficiënt
Bewezen natte-wassertechniek, lage bedrijfskosten, ingebouwd waterrecirculatiesysteem, eenvoudige bediening door middel van PLC met kleuren-touchscreen