適用于高要求製程的新一代乾式真空泵浦
性能卓越
先進的螺旋式設計，卓越的運行品質，集成真空助力器，非常適用於化學氣相沉積、快速熱處理或原子層沉積應用
高效
擁有成本低，維護少，保養間隔長，可長效運行，高效水冷卻，高氫氣輸送量
結構精巧
密閉式設計，直接安裝的密閉式馬達
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