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COBRA DS 3181 C

乾式螺旋式真空泵浦

或者直接致電我們: +886 (3)5 99 95 80

適用于高要求製程的新一代乾式真空泵浦

性能卓越

先進的螺旋式設計,卓越的運行品質,集成真空助力器,非常適用於化學氣相沉積、快速熱處理或原子層沉積應用

高效

擁有成本低,維護少,保養間隔長,可長效運行,高效間接水冷卻

結構精巧

密閉式設計,直接安裝的密閉式馬達,底泵浦和真空助力器組合安裝於底座上

技術規範

市場和應用

平板顯示器生產
  • 預真空鎖腔體
半導體應用
  • ALD
太陽能發電行業
  • 電池製造

配件

  • 備有可選粉末加工版