適用于高要求製程的新一代乾式真空泵浦
性能卓越
先進的螺旋式設計,卓越的運行品質,集成真空助力器,非常適用於化學氣相沉積、快速熱處理或原子層沉積應用
高效
擁有成本低,維護少,保養間隔長,可長效運行,高效間接水冷卻
結構精巧
密閉式設計,直接安裝的密閉式馬達,底泵浦和真空助力器組合安裝於底座上
技術規範
市場和應用
顯示器
-
預真空鎖腔體
半導體
-
ALD
太陽能
-
電池製造
配件
- 備有可選粉末加工版