noua generație de pompe de vid uscate pentru procese solicitante
Performanță ridicată
Design avansat cu șurub, calități excelente în funcționare, amplificator de vid integrat, perfect adaptate pentru depunere chimică din vapori, procesare termică rapidă sau depunerea stratului atomic
Eficient
Costuri reduse de proprietate, întreținere minimă, intervale de service mari, durată de funcționare îndelungată, răcire eficientă indirectă cu apă
Compact
Design cu montare pe poziție, motor capsulat cu montare directă, pompă suport și amplificator de vid, combinate pe un cadru de bază compact
Specificații tehnice
Piețe și aplicații
Producția de afișaje cu ecran plat
-
Camere de încărcare tampon
Aplicații cu semiconductori
-
ALD
Industria energiei solare
-
Fabricația celulelor
Accesorii
- Este disponibilă versiunea opțională pentru procesarea pulberilor