den nye generasjonen av tørre vakuumpumper for krevende prosesser
Høy ytelse
Avansert skruedesign, utmerkede driftskvaliteter, integrert vakuumbooster, perfekt egnet for kjemisk dampavsetning, hurtig varmeprosessering eller atomlagavsetning
Effektiv
Lav levetidskostnad, minimalt vedlikehold, lange serviceintervaller, høy oppetid, effektiv og indirekte vannkjøling
Kompakt
Fit-in-place-design, direktemontert lukket motor, forvakuumpumpe og vakuumbooster kombinert på en kompakt hovedramme
Tekniske spesifikasjoner
Markeder og bruksområder
Håndtering av biogass
-
Oppgradering – trykksvingadsorpsjon
Produksjon av flatskjerm
-
Plasmaforsterket kjemisk dampavsetning (PECVD)
-
Innlastningssluser
-
Organisk lysdiode (OLED)
-
Fysisk dampavsetning (PVD)
Produksjon av litium-ion-batterier
-
Avgassing
Halvlederproduksjon
-
Middels
-
Krevende
-
Lav
Solenergiindustri
-
Innlastningssluser
-
Plasmaforsterket kjemisk dampavsetning (PECVD)
Tilbehør
- Alternativ pulverprosessversjon tilgjengelig