R5 RA ECOTORQUE
高効率
可変速ドライブ（ECOTORQUE）で最大50％の省エネ、自動スタート / ストップ機能を備えたエコモード
高性能
低圧域での高い排気速度、粗びき領域での連続運転を想定した設計、クラス最高レベルの面積生産性
フレキシブル
プロセス要件に合わせた真空レベル調整（圧力制御）と排気速度調整（速度制御）が可能、幅広い電源電圧に対応、オプションのECOTORQUE Master Controlで真空ポンプを最大8台まで制御/監視可能
技術仕様
アクセサリー
- シングルまたはダブルのガスバラストバルブ、手動またはソレノイド
- 各種インレットフィルター
- 各種温度計、圧力計
- 熱回収キット（水冷式オイルクーラー）
- 各種真空オイル