R5 RA ECOTORQUE
高効率
可変速ドライブ（ECOTORQUE）で最大50％の省エネ、自動スタート / ストップ機能を備えたエコモード
高性能
低真空域での高い排気速度、粗びき領域での連続運転を想定した設計、設置面積あたりクラス最高の性能
フレキシブル
プロセス要件に合わせた真空レベル調整（圧力制御）と排気速度調整（速度制御）が可能、幅広い電源電圧に対応、オプションのECOTORQUE Master Controlで真空ポンプを最大8台まで制御/監視可能
技術仕様
マーケット & アプリケーション
自動車と輸送
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真空清掃/清掃する部品
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熱処理
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電子ビーム溶接
化学および製薬業界
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包装
リチウムイオン電池製造
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電解液注入
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脱気
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混合
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含浸
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真空乾燥
冶金
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熱処理
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真空ろう付け/はんだ付け
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真空焼結
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電子ビーム溶接
製薬業界
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包装
薄膜コーティング
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装飾用コーティング
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光学コーティング
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ガラスコーティング
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摩耗保護コーティング
アクセサリー
- シングルまたはダブルのガスバラストバルブ、手動またはソレノイド操作
- 各種インレットフィルター
- 各種温度計、圧力計
- 熱回収キット（水冷式オイルクーラー）
- 各種真空オイル