R5 RA 0165-0305 D ECOTORQUE
オイル潤滑ロータリーベーン真空ポンプ
R5 RA ECOTORQUE
高効率
可変速ドライブ(ECOTORQUE)で優れた省エネ効果、自動スタート / ストップ機能を備えたエコモード
高い性能
到達圧力付近で高い排気速度、粗びき領域での連続運転を想定した設計
フレキシブル
プロセス要件に合わせた真空レベル調整(圧力制御)と排気速度調整(速度制御)が可能、幅広い電源電圧に対応、オプションのECOTORQUE Master Controlで真空ポンプを最大8台まで制御/監視可能
技術仕様
アクセサリー
- ガスバラストバルブ
- 各種インレットフィルター
- 熱交換器付き水冷オイルクーラー
- オイルレベルスイッチ
- 温度センサー
- フィルタープレッシャーゲージ
- 各種真空オイル
- 真空調整ユニット