Produzione di semiconduttori con il vuoto

Le pompe per vuoto Busch sono utilizzate presso i principali stabilimenti di semiconduttori e sono note per la loro affidabilità. Il risultato di molti anni di ascolto delle esigenze dei nostri partner nel campo dei semiconduttori e dei loro requisiti del processo.

Lasciatevi guidare nella ricerca della soluzione perfetta per i vostri requisiti del processo.

Servizi per semiconduttori

ARPQP
Il nuovo servizio di revisione di pompe per vuoto di Busch. Soprattutto per il mercato dei semiconduttori e dei pannelli piatti.
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Gestione completa del Sub Fab
Soluzione completa di assistenza sul posto per una produzione sicura e stabile nel vostro stabilimento di semiconduttori.
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LA NOSTRA SOLUZIONE PER LA PRODUZIONE DI SEMICONDUTTORI

Le soluzioni per vuoto Busch sono la scelta di fiducia per tutte le applicazioni di semiconduttori, nei quali l'elevata affidabilità, il basso costo di proprietà e le comunicazioni attraverso strumenti smart per semiconduttori sono elementi imprescindibili. Dalle camere dei compartimenti di carico ai processi di generazione di particelle più gravosi. Abbiamo fornito i nostri sistemi per vuoto ai principali produttori di semiconduttori del mondo. E con un'assistenza sul posto proveniente da una fonte unica.

	COBRA	TORRI	VACTEST	TAPIR
Leggere (camere dei compartimenti di carico e di trasferimento, metrologia, litografia)	✓	✓	✓	✓
Medie (processi PVD, pulizia preliminare PVD, RTA, strippaggio/incenerimento, incisione dell'ossido, incisione del silicio)	✓		✓	✓
Gravose (incisione del metallo, sorgente impiantazione, HDP, CVD, RTP, epitassia, SA CVD, MO CVD, PE CVD, LP CVD, ALD)	✓		✓	✓