Bitte aktualisieren Sie Ihren Browser.

Es sieht so aus, als ob Sie eine alte Version des Edge-Browsers von Microsoft verwenden. Um die Busch Webseite optimal nutzen zu können, aktualisieren Sie bitte Ihren Browser.

Kontakt
Global

COBRA DS 3181 C

Trockene Schrauben-Vakuumpumpe

Oder rufen Sie uns direkt an: +49 (0)7622 681-2020

Die neue Generation trockener Vakuumpumpen für anspruchsvolle Prozesse

Herausragende Leistung

Hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie, hervorragende Laufeigenschaften, integrierter Vakuum-Booster, optimal geeignet für die chemische Gasphasenabscheidung, Rapid Thermal Processing oder Atomic Layer Deposition

Effizient

Niedrige Betriebskosten, minimale Wartung, lange Service-Intervalle, hohe Verfügbarkeit, effiziente indirekte Wasserkühlung

Kompakt

Platzsparende Konstruktion, direkt montierter Spaltrohrmotor, Vorpumpe und Vakuum-Booster auf einem kompakten Grundrahmen

Technische Ausführung

Märkte und Anwendungen

Flachbildschirmproduktion
  • Load-Lock-Kammern
Halbleiteranwendungen
  • ALD
Solarindustrie
  • Zellproduktion

Zubehör

  • Optionale Pulverprozessversion erhältlich