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Fabricación de semiconductores con vacío

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Las bombas de vacío de Busch funcionan en las principales fábricas de semiconductores y son reconocidas por su fiabilidad. Es el resultado de muchos años de prestar atención a las necesidades de nuestros socios fabricantes de semiconductores y sus requisitos de procesos.

Permítanos guiarle para encontrar la solución perfecta para los requisitos de su proceso.

Servicios de semiconductores

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    ARPQP

    El nuevo servicio de reacondicionamiento de bombas de vacío de Busch. Especialmente para los mercados de Semicon y pantallas planas.

    Más información
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    Administración Sub Fab integral

    Solución de servicio integral in situ para lograr un entorno de producción seguro y estable en su fábrica de semiconductores.

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    Semiconductor service locations

    Find your semiconductor service location.

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NUESTRAS SOLUCIONES PARA LA FABRICACIÓN DE SEMICONDUCTORES

Las soluciones de vacío de Busch son la elección perfecta para todas las aplicaciones de semiconductores. Allí donde sean imprescindibles una elevada fiabilidad, un coste de propiedad bajo y la comunicación inteligente entre herramientas para semiconductores. Desde cámaras load lock hasta los procesos de generación de partículas más exigentes. Hemos suministrado sistemas de vacío a fabricantes de semiconductores líderes en todo el mundo. Además les ofrecemos soporte integral in situ.
COBRA TORRI VACTEST TAPIR
Baja exigencia (cámaras load lock y de transferencia, metrología, litografía)
Exigencia media (procesos PVD, limpieza previa PVD, RTA, separación/incineración, marcado por abrasión de óxido, marcado por abrasión de silicio)
Alta exigencia (marcado por abrasión de metales, fuente de implante, HDP, CVD, RTP, epitaxia, SA CVD, MO CVD, PE CVD, LP CVD, ALD)

Casos de estudio

  • Evitar tiempos de inactividad no programados en las fábricas de semiconductores con el servicio de vacío preventivo

    Evitar tiempos de inactividad no programados en las fábricas de semiconductores con el servicio de vacío preventivo

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