Těsné optimizéry výkonu pro aplikace středního a vysokého vakua
Spolehlivé
Speciální pístový design zabraňující usazování prachu a částic, robustní konstrukce z materiálu GGG40, utěsněná
Vysoká výkonnost
Speciálně navrženo pro náročná použití ve středním a vysokém vakuu, včetně polovodičových procesů s práškem a prachem, vynikající objemová účinnost.
Flexibilní
Spolehlivý výkon v různých provozních podmínkách, zvyšuje výkon všech typů základových vývěv
Technické specifikace
Trhy a aplikace
Výroba plochých displejů
-
Plazmaticky vylepšená chemická depozice par (PEVCD)
Výroba polovodičů
-
Hrubé
Solární průmysl
-
Plazmaticky vylepšená chemická depozice par (PEVCD)