Nová generace suchoběžných vývěv pro náročné procesy
Vysoká výkonnost
Pokročilý šroubový design, vynikající provozní vlastnosti, integrovaný vakuový posilovač, dokonale vhodné pro chemickou depozici par, rychlé tepelné zpracování nebo depozici atomových vrstev
Účinnost
Nízké pořizovací náklady, minimální údržba, dlouhé servisní intervaly, dlouhá provozní doba, účinné nepřímé vodní chlazení, vysoká propustnost vodíku
Kompaktnost
Prostorově úsporný design, přímo montovaný zapouzdřený motor
Technické specifikace
Trhy a aplikace
Manipulace s bioplynem
-
Upgrade – adsorpce kolísání tlaku
Výroba plochých displejů
-
Organická světelná dioda (OLED)
-
Komory pro vkládání vzorků
-
Plazmaticky vylepšená chemická depozice par (PEVCD)
-
Fyzikální depozice par (PVD)
Výroba lithium-iontových baterií
-
Odplyňování
Výroba polovodičů
-
Střední
-
Hrubé
-
Lehké
Solární průmysl
-
Plazmaticky vylepšená chemická depozice par (PEVCD)