COBRA DS 3181 C
Suchoběžná šroubová vývěva
Nová generace suchoběžných vývěv pro náročné procesy
Vysoká výkonnost
Pokročilý šroubový design, vynikající provozní vlastnosti, integrovaný vakuový posilovač, dokonale vhodné pro chemickou depozici par, rychlé tepelné zpracování nebo depozici atomových vrstev
Účinné
Nízké pořizovací náklady, minimální údržba, dlouhé servisní intervaly, dlouhá provozní doba, účinné nepřímé vodní chlazení
Kompaktnost
Prostorově úsporný design, přímo montovaný zapouzdřený motor, základová vývěva a vakuový posilovač zkombinované na kompaktním základovém rámu
Technické specifikace
Trhy a aplikace
Výroba plochých displejů
-
Plazmaticky vylepšená chemická depozice par (PEVCD)
-
Komory pro vkládání vzorků
-
Organická světelná dioda (OLED)
-
Fyzikální depozice par (PVD)
Výroba lithium-iontových baterií
-
Odplyňování
Výroba polovodičů
-
Střední
-
Hrubé
-
Lehké
Solární průmysl
-
Komory pro vkládání vzorků
-
Plazmaticky vylepšená chemická depozice par (PEVCD)
Příslušenství
- Dostupná volitelná verze pro práškový proces