Nová generace suchoběžných vývěv pro náročné procesy
Vysoká výkonnost
Pokročilý šroubový design, vynikající provozní vlastnosti, integrovaný vakuový posilovač, dokonale vhodné pro chemickou depozici par, rychlé tepelné zpracování nebo depozici atomových vrstev
Účinné
Nízké pořizovací náklady, minimální údržba, dlouhé servisní intervaly, dlouhá provozní doba, účinné nepřímé vodní chlazení
Kompaktnost
Prostorově úsporný design, přímo montovaný zapouzdřený motor, základová vývěva a vakuový posilovač zkombinované na kompaktním základovém rámu
Technické specifikace
Trhy a aplikace
Výroba plochých displejů
-
Komory pro vkládání vzorků
Polovodičové aplikace
-
ALD
Solární průmysl
-
Výroba článků
Příslušenství
- Dostupná volitelná verze pro práškový proces