Nová generace suchoběžných vývěv pro náročné procesy
Vysoká výkonnost
Pokročilý šroubový design, vynikající provozní vlastnosti, integrovaný vakuový posilovač, dokonale vhodné pro chemickou depozici par, rychlé tepelné zpracování nebo depozici atomových vrstev
Účinné
Nízké pořizovací náklady, minimální údržba, dlouhé servisní intervaly, dlouhá provozní doba, účinné nepřímé vodní chlazení
Kompaktnost
Prostorově úsporný design, přímo montovaný zapouzdřený motor, základová vývěva a vakuový posilovač zkombinované na kompaktním základovém rámu
Technické specifikace
Trhy a aplikace
Manipulace s bioplynem
-
Upgrade – adsorpce kolísání tlaku
Výroba plochých displejů
-
Organická světelná dioda (OLED)
-
Komory pro vkládání vzorků
-
Plazmaticky vylepšená chemická depozice par (PEVCD)
-
Fyzikální depozice par (PVD)
Výroba lithium-iontových baterií
-
Odplyňování
Výroba polovodičů
-
Střední
-
Hrubé
-
Lehké
Solární průmysl
-
Plazmaticky vylepšená chemická depozice par (PEVCD)
-
Komory pro vkládání vzorků
Příslušenství
- Dostupná volitelná verze pro práškový proces