COBRA DS 1200/1800 A/A X
Suchoběžné šroubové vývěvy
Nová generace suchoběžných vývěv pro náročné procesy
Vysoká výkonnost
Pokročilý šroubový design, vynikající provozní vlastnosti, integrovaný vakuový posilovač, dokonale vhodné pro solární, ploché panely a polovodičové aplikace a náročné procesy s plyny o vysokých teplotách, jako například leptání a CVD, vynikající pro zpracování prášku, šroub s tantalovým potahem pro náročná použití
Účinnost
Nízké pořizovací náklady, minimální údržba, dlouhé servisní intervaly, dlouhá provozní doba, vysoká propustnost vodíku, nízká spotřeba energie, řízení různých teplot
Kompaktnost
Prostorově úsporný design, přímo montovaný zapouzdřený motor, základová vývěva a vakuový posilovač zkombinované na kompaktním základovém rámu, nízká hladina vibrací
Technické specifikace
Trhy a aplikace
-
Upgrade – adsorpce kolísání tlaku
-
Plazmaticky vylepšená chemická depozice par (PEVCD)
-
Komory pro vkládání vzorků
-
Organická světelná dioda (OLED)
-
Fyzikální depozice par (PVD)
-
Odplyňování
-
Střední
-
Hrubé
-
Lehké
-
Plazmaticky vylepšená chemická depozice par (PEVCD)