适用于高要求工艺的密封型真空生产设备
性能出色
先进的螺杆设计，荣获专利的自平衡螺杆，非常适用于镀膜应用、氦气抽送或氟化应用
高效
拥有成本低，维护少，保养间隔长，正常运行时间长，高效水冷却
密封设计
集成电机，不污染工艺气体，气密
技术规格
市场和应用
分析和研发
-
粒子加速器
-
光束线
-
涂层
沼气处理
-
升级 - 变压吸附
冶金
-
涂层
塑料加工
-
溶解
太阳能发电行业
-
等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)
设计选项
-
ATEX - 用于爆炸危险区域。