适用于高要求工艺的新一代干式真空泵
性能出色
先进的螺杆设计，出色的运行品质，集成罗茨泵，非常适用于高容量 load lock 和镀膜工艺
高效
拥有成本低，维护少，保养间隔长，正常运行时间长，高效水冷却，高溶剂吞吐量
结构紧凑
密闭式设计，直联的罐装电机，前级泵和罗茨泵组合安装于底座上，模块化设计
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高效
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结构紧凑
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