COBRA DS 8162/8163 B/F
干式螺杆真空泵
适用于高要求工艺的新一代干式真空泵
性能出色
先进的螺杆设计,出色的运行品质,集成罗茨泵,非常适用于高容量 load lock 和镀膜工艺
高效
拥有成本低,维护少,保养间隔长,正常运行时间长,高效水冷却,高溶剂吞吐量
结构紧凑
密闭式设计,直联的罐装电机,前级泵和罗茨泵组合安装于底座上,模块化设计
技术规格
市场和应用
沼气处理
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升级 - 变压吸附
平板显示器生产
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有机发光二极管 (OLED)
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Load lock 腔体
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等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)
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物理气相沉积(PVD)
锂离子电池生产
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脱气
半导体生产
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中型
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轻型