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COBRA DS 8162/8163 B/F

干式螺杆真空泵

适用于高要求工艺的新一代干式真空泵

性能出色

先进的螺杆设计,出色的运行品质,集成罗茨泵,非常适用于高容量 load lock 和镀膜工艺

高效

拥有成本低,维护少,保养间隔长,正常运行时间长,高效水冷却,高溶剂吞吐量

结构紧凑

密闭式设计,直联的罐装电机,前级泵和罗茨泵组合安装于底座上,模块化设计

技术规格

市场和应用

沼气处理
  • 升级 - 变压吸附
平板显示器生产
  • 等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)
  • Load lock 腔体
  • 有机发光二极管 (OLED)
  • 物理气相沉积(PVD)
锂离子电池生产
  • 脱气
半导体生产
  • 中型
  • 轻型