适用于高要求工艺的新一代干式真空泵
性能出色
先进的螺杆设计，出色的运行品质，集成罗茨泵，非常适用于化学气相沉积、快速热退火或原子层沉积等应用
高效
拥有成本低，维护少，保养间隔长，正常运行时间长，高效水冷却，高氢气吞吐量
结构紧凑
密闭式设计，直联的罐装电机
请更新您的浏览器。
您使用的 Microsoft Edge 浏览器版本可能过低。为了在访问 Busch 普旭网站时获得最佳体验，请更新您的浏览器。
请更新您的浏览器。
您使用的 Microsoft Edge 浏览器版本可能过低。为了在访问 Busch 普旭网站时获得最佳体验，请更新您的浏览器。
性能出色
先进的螺杆设计，出色的运行品质，集成罗茨泵，非常适用于化学气相沉积、快速热退火或原子层沉积等应用
高效
拥有成本低，维护少，保养间隔长，正常运行时间长，高效水冷却，高氢气吞吐量
结构紧凑
密闭式设计，直联的罐装电机