Tecnologia consolidata, progetti collaudati:
non resta che scegliere la soluzione migliore

COBRA BC 0100 / 0200 F Premium Efficiency

  • Efficiente:
    economicamente vantaggiosa, ciclo di funzionamento lungo, ad alta efficienza energetica
  • Di facile manutenzione:
    lunghi intervalli di manutenzione
  • Affidabile:
    affidabilità operativa
  • Flessibile:
    orientata all'applicazione
  • Silenziosa:
    livello di rumore < 62 dB(A)
     

COBRA BC 0100 F Premium Efficiency è una pompa per vuoto a vite a secco nel consolidato portafoglio della serie COBRA BC che offre soluzioni per l’evacuazione delle camere “load lock” compatte e per altri processi esigenti della produzione di celle fotovoltaiche, pannelli per schermi piatti e semiconduttori. Grazie all’efficiente raffreddamento ad aria ed ad una capacità di aspirazione che è la più alta nella sua classe di prestazioni, questa pompa per vuoto è ideale per applicazioni che richiedono una generazione del vuoto efficiente, rapida ed affidabile. La tecnologia delle pompe per vuoto COBRA è senza olio e senza contatto, consentendo l’evacuazione del prodotto senza alcuna contaminazione.

COBRA BC 0100 F Premium Efficiency è provvista di un motore altamente efficiente con una modalità stand-by che offre un grande potenziale di risparmi energetici.

La realizzazione compatta di COBRA BC 0100 F Premium Efficiency richiede uno spazio alquanto ridotto e il suo bassissimo fabbisogno energetico contribuisce a contenere al minimo i costi di esercizio.

Applicazioni

  • High-capacity Load Lock
  • Transfer
  • Metrology
  • Lithography
  • Physical Vapor Deposition (PVD)
  • Rapid Thermal Annealing (RTA)


Premium Efficiency La nuova classe Premium Efficiency di Busch unisce tecnologie leader nel settore e caratteristiche operative che stabiliscono nuovi standard di efficienza. Premium Efficiency, dotata della recente tecnologia Busch VacBoost, rappresenta un approccio completo e integrato al consumo di energia, all'efficienza, all'affidabilità, all'assistenza e alla sostenibilità.

  • Risparmio fino al 40% sul consumo di energia elettrica
  • Efficienza energetica migliore del settore basata su piattaforme tecnologiche integrate
  • Elevata affidabilità e manutenzione ridotta
  • Supporto dell'Assistenza Busch
  • Costo ridotto del ciclo di vita totale
  • Sostenibilità ambientale grazie a un impatto energetico ridotto

COBRA Premium Efficiency– l'ultima generazione di pompe per vuoto a secco per processi esigenti.

COBRA Premium Efficiency– l'ultima generazione di pompe per vuoto a secco per processi esigenti.

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Dati tecnici

Specifiche tecniche
COBRA BC 0100 F Premium Efficiency è una pompa per vuoto monostadio a doppia vite. I due rotori a vite ruotano all’interno del cilindro, intrappolando e comprimendo il mezzo aspirato, che viene poi trasportato verso la mandata della pompa. Durante il processo di compressione, non si ha alcun contatto tra i rotori a vite né fra essi e il cilindro per cui non sono richiesti lubrificanti e fluidi operativi nella camera di compressione. Lo sviluppo più recente del design della vite presenta un supporto a sbalzo, il che riduce drasticamente il consumo energetico e impedisce alte temperature del gas durante la compressione. COBRA BC 0100 F Premium Efficiency incorpora di serie il raffreddamento ad acqua, che assicura una distribuzione omogenea della temperatura all’interno della pompa per vuoto.

Il design unico della vite “flying bearing” elimina i problemi relativi ai cuscinetti di entrata e riduce l'ingombro.

Disegno COBRA BC 0100 / 0200 F Premium Efficiency
COBRA BC 0100 / 0200 F Premium Efficiency
Portata

Aria a 20°C. Tolleranza: ± 10%

50 Hz 60 Hz
Portata
Dati tecnici COBRA BC 0100 F Premium Efficiency COBRA BC 0200 F Premium Efficiency
Capacità di aspirazione nominale 115 m³/h 175 m³/h
Pressione assoluta nominale 0,005 hPa (mbar) 0,005 hPa (mbar)
Potenza nominale del motore 1,8 kW 2,9 kW
Consumo energetico alla pressione finale 0,55 kW 0,7 kW
Velocità nominale del motore 3600 min-1 4570 min-1
Livello di rumorosità (ISO 2151) 58 dB(A) 60 dB(A)
Consumo di acqua 1,0 l/min 2,0 l/min
Consumo d'aria secca compressa 25 l/min* 25* l/min
Peso approssimativo 120 kg 130 kg
Dimensioni (L x W x H) 829 x 304 x 362 mm 806 x 304 x392 mm
Ingresso / uscita gas DN 50 KF DN 50 KF
* Stickstoff kann als Alternative verwendet werden

Dati tecnici

Specifiche tecniche
COBRA BC 0100 F Premium Efficiency è una pompa per vuoto monostadio a doppia vite. I due rotori a vite ruotano all’interno del cilindro, intrappolando e comprimendo il mezzo aspirato, che viene poi trasportato verso la mandata della pompa. Durante il processo di compressione, non si ha alcun contatto tra i rotori a vite né fra essi e il cilindro per cui non sono richiesti lubrificanti e fluidi operativi nella camera di compressione. Lo sviluppo più recente del design della vite presenta un supporto a sbalzo, il che riduce drasticamente il consumo energetico e impedisce alte temperature del gas durante la compressione. COBRA BC 0100 F Premium Efficiency incorpora di serie il raffreddamento ad acqua, che assicura una distribuzione omogenea della temperatura all’interno della pompa per vuoto.

Il design unico della vite “flying bearing” elimina i problemi relativi ai cuscinetti di entrata e riduce l'ingombro.

Disegno
COBRA BC 0100 / 0200 F Premium Efficiency
COBRA BC 0100 / 0200 F Premium Efficiency
Portata

Aria a 20°C. Tolleranza: ± 10%

50 Hz
60 Hz
Portata
Dati tecnici COBRA BC 0100 F Premium Efficiency COBRA BC 0200 F Premium Efficiency
Capacità di aspirazione nominale 115 m³/h 175 m³/h
Pressione assoluta nominale 0,005 hPa (mbar) 0,005 hPa (mbar)
Potenza nominale del motore 1,8 kW 2,9 kW
Consumo energetico alla pressione finale 0,55 kW 0,7 kW
Velocità nominale del motore 3600 min-1 4570 min-1
Livello di rumorosità (ISO 2151) 58 dB(A) 60 dB(A)
Consumo di acqua 1,0 l/min 2,0 l/min
Consumo d'aria secca compressa 25 l/min* 25* l/min
Peso approssimativo 120 kg 130 kg
Dimensioni (L x W x H) 829 x 304 x 362 mm 806 x 304 x392 mm
Ingresso / uscita gas DN 50 KF DN 50 KF
* Stickstoff kann als Alternative verwendet werden

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