Generazione di vuoto a tenuta stagna per processi esigenti
Prestazioni elevate
Design della vite avanzato, viti brevettate con bilanciamento automatico, particolarmente indicate per applicazioni di rivestimento, aspirazione di elio o fluorurazione
Efficienza
Basso costo di proprietà, manutenzione minima, lunghi intervalli di assistenza, alta produttività, raffreddamento ad acqua efficiente
Design a tenuta stagna
Motore integrato, nessuna contaminazione di gas di processo, a tenuta di gas
Analisi e ricerca e sviluppo
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Acceleratori di particelle
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Rivestimento
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Fascio luminoso
Metallurgia
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Rivestimento
Settore dell'energia solare
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Deposizione chimica da vapore potenziata dal plasma (PECVD)
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ATEX - per l'uso in aree a rischio di esplosione.