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RANGU

Pompes à vide à diffusion

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RANGU est une série de pompes à vide à diffusion. Elles ont été spécialement conçues pour des applications industrielles de vide poussé. Cela comprend les unités de revêtement de verre, les fours sous vide, les revêtements de métal, le dépôt physique en phase vapeur (PVD), les traitements de surface ou le revêtement de film fin.

Les pompes à vide à diffusion RANGU fonctionnent selon le principe reconnu de la vapeur. Elles se caractérisent par leur fiabilité exceptionnelle, même dans des conditions extrêmes.

Principe de fonctionnement

Le composant de base des pompes à vide à diffusion RANGU est une unité de pompage cylindrique équipée d'une partie inférieure chauffable. L'huile, utilisée comme fluide, est chauffée. La vapeur d'huile s'élève dans le système de gicleur. Elle passe ensuite à travers plusieurs étages de vapeur et s'échappe du système sous haute pression.

Les molécules du gaz de processus sont piégées par ces vapeurs et sont transportées vers la sortie de la pompe primaire. La vapeur d'huile condense sur la surface intérieure du groupe de pompage refroidi par eau et redescend.

RANGU DF

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Les générateurs de vide poussé robustes et fiables

  • Vitesse de pompage et débit de gaz les plus élevés
  • Opérationnellement fiable
  • Longue durée de vie
  • Maintenance réduite

Avantages de la série RANGU DF

Les pompes à vide à diffusion RANGU DF sont la solution parfaite pour les applications de vide poussé. Elles sont idéales pour les processus qui nécessitent des vitesses de pompage et des débits de gaz élevés.

Ces pompes à vide se caractérisent par leur haute performance constante et leur fonctionnement fiable. Même dans des conditions de fonctionnement extrêmes qui détruiraient d'autres pompes à vide. Elles fonctionnent avec un niveau élevé d'efficacité, et ne nécessitent pratiquement aucune maintenance.

Les pompes à vide à diffusion RANGU peuvent être utilisées à une pression d'aspiration de 10-3 hPa (mbar). Pour générer le vide primaire, nous recommandons une pompe à vide à palettes rotatives R5 ou une pompe à vide à vis COBRA, chacune équipée d'une pompe booster.

Tous les produits RANGU DF

  • RANGU DF 1000-2800 A
    RANGU DF 1000-2800 A

    Vitesse de pompage nominale pour N₂ :
    min. 21 186.0 ACFM max. 59 320.8 ACFM Pression finale : < 5 · 10−8 TORR

    En savoir plus