Système d'abattement des gaz d'échappement
Notre solution : GABA
L'industrie du semi-conducteur utilise des gaz toxiques, inflammables, pouvant être dangereux pour l'environnement, mais aussi pour les personnes. Dans la fabrication des puces électroniques, par exemple. Conformément à la réglementation en vigueur, ces gaz doivent être épurés. Ce qui signifie qu'ils doivent être abaissés sous leur valeur limite d'exposition (TLV)respective.
Les différents gaz nécessitent différentes technologies de traitement, comme la technologie thermique ou humide, voire même une combinaison des deux. Les gaz d'échappement de processus peuvent ensuite être libérés dans l'atmosphère. Sans impacter l'environnement. Pour un monde plus vert.
GABA AWE
- Technologie humide (wet scrubber) innovante
- Pour les processus EPI critiques dans l'industrie des semi-conducteurs
- Dispositif breveté de prévention du bouchage de l'aspiration
- Intervalles de maintenance étendus
- Pas de piège nécessaire pour collecter les sous-produits
- Unité Venturi à variation de fréquence
- Quatre entrées de processus pour connexion à quatre chambres différentes
Avantages de la série GABA AWE
Les GABA AWE sont nos épurateurs humides innovants, spécialement développés pour les processus EPI critiques dans l'industrie des semi-conducteurs. Ils combinent une fiabilité opérationnelle maximale avec le plus haut niveau de stabilité du processus.
Notre gamme AWE est équipée d'une aspiration brevetée des gaz nocifs qui empêche l'entrée de l'épurateur de se boucher. Ce qui permet d'augmenter la durée de vie et, en même temps, de réduire les coûts d'exploitation. L'entretien se réduit au remplacement du dispositif empêchant l'aspiration de se boucher à des intervalles de service définis. Cela peut être effectué facilement sans avoir à démonter l'unité.
La conception spéciale GABA AWE rend obsolète le piège de la séparation des sous-produits du processus de production. L'épurateur humide peut traiter tous les résidus du procédé sans bloquer l'aspiration des gaz. Les sous-produits solubles dans l'eau réagissent dans le liquide de lavage, les solides sont séparés sous forme de particules ou évacués par pompage avec les eaux usées pendant l'opération.
Le vide du processus de production est assuré et contrôlé activement par une unité Venturi à variation de fréquence. Cela garantit une pression constante du processus dans l'usine de production et un fonctionnement sans faille. Tous les réglages du processus peuvent être effectués via un automate programmable industriel (PLC) avec affichage couleur et écran tactile.
FAQ
Qu’est-ce qu’un système d’abattement des gaz d’échappement ?
Les systèmes d’abattement des gaz GABA AFC permettent de détoxifier les gaz dangereux et les polluants atmosphériques lors des processus de fabrication. Ce processus est nécessaire pour permettre la libération de ces gaz dans l’atmosphère en toute sécurité. Les différents gaz requièrent différentes technologies de traitement (thermique, humide ou une combinaison des deux).
Qu’est-ce que l’abattement des gaz ?
L’abattement des gaz est le processus permettant de modifier la composition des gaz nocifs et des polluants atmosphériques. Cela est nécessaire pour qu’ils puissent être libérés dans l’atmosphère sans nuire aux animaux ou à l’homme.
Principe de fonctionnement
Catalytique sans flamme
Ce système de catalyseur combine oxydation thermique catalytique sans flamme et technologie de traitement humide pour atténuer le NF₃ et les gaz inflammables, solubles dans l'eau. Les gaz solubles dans l'eau et sous forme de poudre, qui peuvent être générés pendant l'oxydation thermique, sont capturés dans une zone d'humidification à plusieurs étapes en amont.
Thermique-humide
La technologie électrothermique et de traitement par voie humide est combinée dans un système pour atténuer les gaz à base d'hydrures, tels que le NH₃, le SiH₄ mais aussi le NF₃. Dans la chambre de combustion, la composition chimique des gaz de processus inflammables et pyrophoriques est modifiée par oxydation thermique. Les gaz solubles dans l'eau sont alors dissous en amont dans une chambre humide.
Dépoussiéreur par voie humide (wet scrubber)
Dans quatre chambres de réaction individuelles, le flux de gaz d'échappement, provenant en particulier des procédés d'épitaxie, est pulvérisé avec l'eau. Les sous-composés solides sont capturés dans des gouttelettes puis dissous. Un absorbeur sépare ensuite l'eau de la vapeur des gaz d'échappement.