PUMA WY 3600 A
Acelerador de vácuo
Os otimizadores de desempenho estanques para aplicações de vácuo alto e médio
Confiável
Design de lóbulo especial para impedir depósitos de pó e partículas, construção robusta feita de material GGG40, estanque
Alto desempenho
Concebido especialmente para aplicações pesadas nas faixas de médio e alto vácuo, incluindo processos de semicondutores com pó e poeira, excelente eficiência volumétrica
Flexível
Desempenho confiável sob as mais diversas condições operacionais, alavanca o desempenho de todos os tipos de bombas de apoio
Especificações técnicas
Mercados e aplicações
Produção de telas planas
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Deposição química de vapor enriquecida com plasma (PECVD)
Produção de semicondutores
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Pesado
Indústria de energia solar
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Deposição química de vapor enriquecida com plasma (PECVD)