COBRA DS 8162/8163 B/F
Bombas de vácuo de parafuso a seco
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A nova geração de bombas de vácuo a seco para processos exigentes
Alto desempenho
Design avançado do parafuso, qualidades excelentes de execução, acelerador de vácuo integrado, ideais para processos de revestimento e load lock de alta capacidade
Eficiente
Baixo custo de aquisição, manutenção mínima, longos intervalos de serviço, alta disponibilidade, refrigeração a água eficiente, alto rendimento do solvente
Compactos
Design de perfeito encaixe, motor blindado diretamente montado, bomba de apoio e acelerador de vácuo combinados em uma base estrutural compacta, design modular
Especificações técnicas
Mercados e aplicações
Manuseio de biogás
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Atualização - adsorção por modulação de pressão
Produção de telas planas
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Diodo orgânico emissor de luz (OLED)
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Câmaras de load lock
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Deposição química de vapor enriquecida com plasma (PECVD)
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Deposição física de vapor (PVD)
Produção de baterias de íons de lítio
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Desgaseificação
Produção de semicondutores
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Médio
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Leve