A nova geração de bombas de vácuo a seco para processos exigentes
Alto desempenho
Design avançado do parafuso, excelentes qualidades de execução, acelerador de vácuo integrado, ideais para deposição química de vapor, processamento térmico rápido ou deposição de camada atômica
Eficiente
Baixo custo de aquisição, manutenção mínima, longos intervalos de serviço, alta disponibilidade, refrigeração a água indireta eficiente
Compactos
Design de perfeito encaixe, motor blindado montado diretamente, bomba de apoio e acelerador de vácuo combinados em uma base estrutural compacta
Especificações técnicas
Mercados e aplicações
Produção de telas planas
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Câmaras de bloqueio de carga
Aplicações de semicondutores
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ALD
Indústria de energia solar
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Fabricação de células
Acessórios
- Versão opcional com processamento de pó disponível