COBRA DS 0700–2000 G
Bombas de vácuo de parafuso a seco
A nova geração de bombas de vácuo a seco para processos exigentes
Alto desempenho
Design avançado do parafuso, excelentes qualidades de execução, acelerador de vácuo integrado, ideais para deposição química de vapor, processamento térmico rápido ou deposição de camada atômica
Eficiente
Baixo custo de aquisição, manutenção mínima, intervalos longos de serviço, alta disponibilidade, refrigeração a água eficiente e indireta, alto rendimento de hidrogênio
Compactos
Design de perfeito encaixe, motor blindado montado diretamente, bomba de apoio e acelerador de vácuo combinados em uma base estrutural compacta
Especificações técnicas
Mercados e aplicações
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Atualização - adsorção por modulação de pressão
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Deposição química de vapor enriquecida com plasma (PECVD)
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Câmaras de load lock
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Diodo orgânico emissor de luz (OLED)
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Deposição física de vapor (PVD)
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Desgaseificação
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Médio
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Pesado
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Leve
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Deposição química de vapor enriquecida com plasma (PECVD)