Torri meertraps Rootsvacuümpompen zijn de compacte en energie-efficiënte oplossing voor de evacuatie van load-lock-kamers.

Ze worden gekenmerkt door een lage einddruk en supersnelle evacuatietijd.

 

Werkingsprincipe

Torri BD vacuümpompen werken volgens het bewezen Roots-principe.

Door het draaien van de rotoren wordt het medium van de ene trap naar de andere verpompt en uiteindelijk naar de uitlaat getransporteerd.

Door het speciale profiel van de rotoren en de precieze vervaardiging ervan, komen ze niet met elkaar of met de behuizing in contact.
Daarnaast zijn er geen smeermiddelen of bedrijfsvloeistoffen nodig in de compressiekamer van de pomp.

De rotoren worden aangedreven door een direct gekoppelde elektrische synchrone motor, die watergekoeld is.