Update uw browser.

Het lijkt erop dat u een oude versie van Microsoft Edge gebruikt. Update uw browser voor de beste ervaring met de Busch website.

Contact
België
  • Busch Vacuum Solutions, Dry screw vacuum pump , COBRA DS 5161-9161 B,F

COBRA DS 5161–9161 B/F

Droge schroefvacuümpompen

De nieuwe generatie droge vacuümpompen voor veeleisende processen

Uitstekende prestaties

Geavanceerd schroefontwerp, uitstekende loopprestaties, geïntegreerde vacuümbooster, ideaal voor chemical vapor deposition, rapid thermal processing of atomic layer deposition

Efficiënt

Lage gebruikskosten, minimaal onderhoud, lange onderhoudsintervallen, hoge beschikbaarheid, efficiënte waterkoeling, hoge waterstofdoorvoer

Compact

Compact ontwerp, direct gemonteerde canned motor

Technische specificaties

Markten & toepassingen

Handling van biogas
  • Upgraden - adsorptie van drukverschillen
Productie van flatscreens
  • Plasmageassisteerde afzetting van chemische dampen (PECVD)
  • Load-lock-kamers
  • Organische lichtgevende diode (oled)
  • Fysieke dampafzetting (PVD)
Productie van lithiumionbatterijen
  • Ontgassen
Productie van halfgeleiders
  • Middelzwaar
  • Zwaar
  • Licht
Zonne-energiebranche
  • Plasmageassisteerde afzetting van chemische dampen (PECVD)