COBRA DS 1200/1800 A/A X
Droge schroefvacuümpompen
De nieuwe generatie droge vacuümpompen voor veeleisende processen
Uitstekende prestaties
Geavanceerd schroefontwerp, uitstekende loopprestaties, ingebouwde vacuümbooster, ideaal voor solar-, flat panel- en semiconductor-toepassingen en zware processen met hoge gastemperaturen, zoals etsen en CVD, uitstekende handling voor vaste deeltjes, met tantal gecoate schroef voor zware toepassingen
Efficiënt
Lage gebruikskosten, minimaal onderhoud, lange onderhoudsintervallen, hoge beschikbaarheid, hoge waterstofdoorvoer, laag energieverbruik, variabele temperatuurregeling
Compact
Compact ontwerp, direct gemonteerde canned motor, voorpomp en vacuümbooster gecombineerd op compact basisframe, laag trillingsniveau
Technische specificaties
Markten & toepassingen
Handling van biogas
-
Upgraden - adsorptie van drukverschillen
Productie van flatscreens
-
Plasmageassisteerde afzetting van chemische dampen (PECVD)
-
Load-lock-kamers
-
Organische lichtgevende diode (oled)
-
Fysieke dampafzetting (PVD)
Productie van lithiumionbatterijen
-
Ontgassen
Productie van halfgeleiders
-
Middelzwaar
-
Zwaar
-
Licht
Zonne-energiebranche
-
Plasmageassisteerde afzetting van chemische dampen (PECVD)