Fabricación de semiconductores con vacío

Las bombas de vacío de Busch funcionan en las principales fábricas de semiconductores y son reconocidas por su fiabilidad. Es el resultado de muchos años de prestar atención a las necesidades de nuestros socios fabricantes de semiconductores y sus requisitos de procesos.

Permítanos guiarle para encontrar la solución perfecta para los requisitos de su proceso.

Servicios de semiconductores

ARPQP
El nuevo servicio de reacondicionamiento de bombas de vacío de Busch. Especialmente para los mercados de Semicon y pantallas planas.
Más información
Administración Sub Fab integral
Solución de servicio integral in situ para lograr un entorno de producción seguro y estable en su fábrica de semiconductores.
Leer más
Semiconductor service locations
Find your semiconductor service location.
Learn more

NUESTRAS SOLUCIONES PARA LA FABRICACIÓN DE SEMICONDUCTORES

Las soluciones de vacío de Busch son la elección perfecta para todas las aplicaciones de semiconductores. Allí donde sean imprescindibles una elevada fiabilidad, un coste de propiedad bajo y la comunicación inteligente entre herramientas para semiconductores. Desde cámaras load lock hasta los procesos de generación de partículas más exigentes. Hemos suministrado sistemas de vacío a fabricantes de semiconductores líderes en todo el mundo. Además les ofrecemos soporte integral in situ.

	COBRA	TORRI	VACTEST	TAPIR
Baja exigencia (cámaras load lock y de transferencia, metrología, litografía)	✓	✓	✓	✓
Exigencia media (procesos PVD, limpieza previa PVD, RTA, separación/incineración, marcado por abrasión de óxido, marcado por abrasión de silicio)	✓		✓	✓
Alta exigencia (marcado por abrasión de metales, fuente de implante, HDP, CVD, RTP, epitaxia, SA CVD, MO CVD, PE CVD, LP CVD, ALD)	✓		✓	✓