lekkasjetett ytelsesoptimering for applikasjoner med medium og høyt vakuum
Pålitelig
Spesiallobedesign for å forhindre pulver- og partikkelansamlinger, robust konstruksjon av GGG40-materiale, lekkasjetett
Høy ytelse
Spesialdesignet for krevende bruksområder i medium- og høyvakuumområdet, inkludert halvlederprosesser med pulver og støv, utmerket volumetrisk effektivitet
Fleksibel
Pålitelig ytelse under varierende driftsforhold, øker ytelsen til alle typer forvakuumpumper
Tekniske spesifikasjoner
Markeder og bruksområder
Produksjon av flatskjerm
-
Plasmaforsterket kjemisk dampavsetning (PECVD)
Halvlederproduksjon
-
Krevende
Solenergiindustri
-
Plasmaforsterket kjemisk dampavsetning (PECVD)