COBRA DS 8162/8163 B/F
Tørre skruevakuumpumper
den nye generasjonen av tørre vakuumpumper for krevende prosesser
Høy ytelse
Avansert skruedesign, utmerkede driftskvaliteter, integrert vakuumbooster, perfekt egnet for høykapasitets innlastingssluser og beleggingsprosesser
Effektiv
Lav levetidskostnad, minimalt vedlikehold, lange serviceintervaller, høy oppetid, effektiv vannkjøling, høy løsemiddelkapasitet
Kompakt
Fit-in-place-design, direktemontert lukket motor, forvakuumpumpe og vakuumbooster kombinert på en kompakt hovedramme, modulær design
Tekniske spesifikasjoner
Markeder og bruksområder
Håndtering av biogass
-
Oppgradering – trykksvingadsorpsjon
Produksjon av flatskjerm
-
Plasmaforsterket kjemisk dampavsetning (PECVD)
-
Innlastningssluser
-
Organisk lysdiode (OLED)
-
Fysisk dampavsetning (PVD)
Produksjon av litium-ion-batterier
-
Avgassing
Halvlederproduksjon
-
Middels
-
Lav