COBRA DS 1200/1800 A/A X
Tørre skruevakuumpumper
den nye generasjonen av tørre vakuumpumper for krevende prosesser
Høy ytelse
Avansert skruedesign, utmerkede driftskvaliteter, integrert vakuumbooster, perfekt egnet for solpanel-, flatpanel- og halvlederapplikasjoner samt krevende prosesser med høye gasstemperaturer som etsing og CVD, utmerket pulverhåndtering, tantalbelagt skrue for krevende applikasjoner
Effektiv
Lav levetidskostnad, minimalt vedlikehold, lange serviceintervaller, høy oppetid, høy hydrogenkapasitet, lavt energiforbruk, variabel temperaturregulering
Kompakt
Fit-in-place-design, direktemontert lukket motor, forvakuumpumpe og vakuumbooster kombinert på en kompakt hovedramme, lavt vibrasjonsnivå
Tekniske spesifikasjoner
Markeder og bruksområder
Håndtering av biogass
-
Oppgradering – trykksvingadsorpsjon
Produksjon av flatskjerm
-
Plasmaforsterket kjemisk dampavsetning (PECVD)
-
Innlastningssluser
-
Organisk lysdiode (OLED)
-
Fysisk dampavsetning (PVD)
Produksjon av litium-ion-batterier
-
Avgassing
Halvlederproduksjon
-
Middels
-
Krevende
-
Lav
Solenergiindustri
-
Plasmaforsterket kjemisk dampavsetning (PECVD)