검증된 기술과 설계 기술로 최고의 솔루션을 드립니다.

COBRA Semicon 스크류 진공 펌프

최대 진공도: 0.001 - 0.03 hPa (mbar)
정격 유량 50 Hz: 70 - 7385 m³/h
정격 유량 60 Hz: 85 - 7385 m³/h

COBRA Semicon 건식 스크류 진공 펌프는 가장 까다로운 LCD, 반도체, 태양전지 제품을 위한 최첨단 고강도 프로세스 및 고용량 로드 락 솔루션을 제공합니다.

뛰어난 효율성 및 안정성
고효율 모터가 장착되어 있어 잠재적인 에너지 절약성이 뛰어납니다. 간단한 설계와 검증된 Busch 스크류 펌프에 (직결식 루츠 진공 펌프 추가 선택 가능)이 결합된 COBRA Semicon은 매우 강력하고 안정적이며 유지보수가 간편한 진공 시스템입니다.

애플리케이션 지향성
COBRA Semicon 스크류 진공 펌프는 다양한 크기와 버전으로 제공되어 어느 공정에나 적합합니다. 소형화 설계로 공간이 제한된 경우에도 설치가 간편합니다. 동급 최강의 펌핑 속도를 통해 우수한 처리량(수소 포함)과 파티클 내성을 가지고 있습니다.


COBRA Semicon – 한 차원 높은 고용량 고성능 진공 펌프.

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+82 (0)31 645 2700 문의하기

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