까다로운 공정을 위한 누출 방지 진공 생성
고성능
고급 스크류 설계, 특허를 획득한 셀프 밸런싱 스크류, 코팅 응용 분야, 헬륨 흡입 또는 플루오르화에 매우 적합
효율성
낮은 소유 비용, 최소한의 유지보수, 긴 서비스 간격, 높은 가동 시간, 효율적인 수냉식
누설 방지 설계
통합형 모터, 공정 가스 오염 방지, 기밀성
기술 사양
시장 & 어플리케이션
분석, 연구 및 개발
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입자 가속기
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코팅
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빔라인
금속 공정
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코팅
태양열 발전 산업용
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플라즈마 촉진 화학 증착법(PECVD)
디자인 옵션
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ATEX - 폭발 위험 구역 용도.