까다로운 공정을 위한 신세대 건식 진공 펌프
고성능
고급 스크류 설계, 우수한 작동 품질, 통합 진공 부스터, 화학적 증기 분해, 신속한 열 처리 또는 원자 계층 분해에 매우 적합
효율성
낮은 소유 비용, 최소한의 유지보수, 긴 서비스 간격, 높은 가동 시간, 효율적인 간접 수냉식
컴팩트
어디에나 설치 가능, 직결식 캔드 모터, 컴팩트한 베이스 프레임에 결합된 보조 펌프 및 진공 부스터
기술 사양
시장 & 어플리케이션
바이오가스 처리용
-
업그레이드 - 압력 순환 흡착
평면 패널 디스플레이 생산용
-
플라즈마 촉진 화학 증착법(PECVD)
-
로드 록 챔버
-
유기 발광 다이오드(OLED)
-
물리적 증착(PVD)
리튬 이온 배터리 생산
-
탈기
반도체 제조
-
Medium
-
Harsh
-
Light
태양열 발전 산업용
-
로드 록 챔버
-
플라즈마 촉진 화학 증착법(PECVD)
액세서리
- 옵션 파우더 사용 가능 버전