까다로운 공정을 위한 신세대 건식 진공 펌프
고성능
고사양의 스크류 설계, 우수한 작동 품질, 내장된 진공 부스터, 우수한 파우더 처리 능력, 반도체 어플리케이션, Flat panel 디스플레이 생산 및 태양광 발전 어플리케이션에 매우 적합
효율성
낮은 소유 비용, 최소한의 유지보수, 긴 서비스 간격, 높은 가동 시간, 효율적인 간접 수냉식, 높은 수소 처리량, 가변 온도 조절, 저진동
컴팩트한 디자인
어디에나 설치 가능, 직결식 캔드 모터, 통합 콘트롤 판넬, 컴팩트한 베이스 프레임에 통합된 보조 펌프 및 진공 부스터
기술 사양
시장 & 어플리케이션
바이오가스 처리용
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업그레이드 - 압력 순환 흡착
평면 패널 디스플레이 생산용
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플라즈마 촉진 화학 증착법(PECVD)
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로드 록 챔버
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유기 발광 다이오드(OLED)
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물리적 증착(PVD)
반도체 제조
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Medium
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Harsh
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Light
태양열 발전 산업용
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물리적 증착(PVD)
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래미네이션
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잉곳 주조
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로드 록 챔버
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플라즈마 촉진 화학 증착법(PECVD)