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PUMA WY 3600 A

Booster de vacío

Los optimizadores de rendimiento herméticos para aplicaciones de vacío medio y alto

Fiables

Diseño especial de los lóbulos para evitar depósitos de polvo y partículas, construcción robusta hecha de material GGG40, hermético

Alto rendimiento

Diseño especial para aplicaciones exigentes en el rango de vacío medio y alto, incluyendo procesos de semiconductores con polvo, excelente eficiencia volumétrica

Versátiles

Rendimiento fiable en condiciones de funcionamiento variables, mejora el rendimiento de todos los tipos de bombas primarias

Especificaciones técnicas

Mercados y aplicaciones

Producción de pantallas planas
  • Deposición química de vapor mejorada por plasma (PECVD)
Producción de semiconductores
  • Duro
Industria de la energía solar
  • Deposición química de vapor mejorada por plasma (PECVD)